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阴极驱动单元和用于在基板上沉积材料的沉积设备.pdfVIP

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  • 2023-02-07 发布于北京
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阴极驱动单元和用于在基板上沉积材料的沉积设备.pdf

    本公开内容提供一种可连接至阴极组件(190)的阴极驱动单元(100)和一种用于在基板上沉积材料的沉积设备(10)。阴极驱动单元(100)包括冷却剂排放通道(150)。阴极驱动单元(100)包括第一密封件(110)。第一密封件(110)设置在冷却剂排放通道(150)的第一侧上。阴极驱动单元(100)包括第二密封件(120)。第二密封件(120)设置在冷却剂排放通道(150)的第一侧上。第一密封件(110)和第二密封件(120)设置在冷却剂排放通道(150)的同一侧上。阴极驱动单元(100)包括第三

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 212388105 U (45)授权公告日 2021.01.22 (21)申请号 202020398864.4 (22)申请日 2020.03.25 (73)专利权人 应用材料公司 地址

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