1. 您所在位置：
  2. 网站首页
  3. 文档分类
  4. 行业资料
  5. 国内专利

研磨机研磨液流量控制装置及方法.pdfVIP

  • 10
  • 0
  • 约1.1万字
  • 约 9页
  • 2023-02-18 发布于四川
  • 举报

研磨机研磨液流量控制装置及方法.pdf

    本申请适用于晶片研磨技术领域，提供了研磨机研磨液流量控制装置及方法，该装置包括依次连接的流量传感器、流量控制仪、伺服电机和调节阀，还包括与流量控制仪连接的压力传感器、与伺服电机连接的搅拌器；流量传感器，用于获取研磨液出口处的实际流量值；压力传感器，用于获取磨液出口处的研磨液对研磨液管道内壁的压力；流量控制仪，用于基于第一阈值、实际流量值和研磨液对研磨液管道内壁的压力，启动伺服电机；伺服电机，用于驱动阀杆或者搅拌器进行转动；调节阀，设置于研磨液管道入口，用于调节研磨液入口处的研磨液流量；搅拌器，设

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 115533734 A (43)申请公布日 2022.12.30 (21)申请号 202211512692.9 B24B 49/16 (2006.01)

    您可能关注的文档

    最近下载

    文档评论（0）

    1亿VIP精品文档

    更多 >

    相关文档

    更多 >