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- 2023-02-21 发布于四川
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本实用新型公开了一种分区吸附的晶圆加热装置及具有其的多工位点胶机，分区吸附的晶圆加热装置包括：底座；加热器，所述加热器设于所述底座，所述加热器的上表面形成为加热面，所述加热面设有至少两个能对不同尺寸的晶圆进行加热的加热区，每个所述加热区分别设有至少一个真空吸附孔；真空吸附装置，所述真空吸附装置与所述真空吸附孔连通以在所述晶圆位于所述加热器上时固定所述晶圆。该分区吸附的晶圆加热装置能够对不同尺寸的晶圆进行加热，能够有效保证晶圆受热均匀。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 212750843 U
(45)授权公告日 2021.03.19
(21)申请号 202021419019.7 B05C 13/02 (2006.01)
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