原创力文档- 2
- 0
- 约6.01千字
- 约 6页
- 2023-02-21 发布于四川
- 举报
本实用新型涉及集成电路生产设备技术领域，具体涉及一种用于传输集成电路生产工艺件的真空机械手结构，包括机械手主体，机械手主体的一端开设有弧形凹槽，弧形凹槽的内壁下部设有弧形放置环，弧形放置环的顶部开设有第一弧形真空吸附槽，弧形放置环的内部开设有与第一弧形真空吸附槽相连通的第一真空腔，本实用新型提供了一种用于传输集成电路生产工艺件的真空机械手结构，通过一系列结构的设计和使用，解决了仅仅单一从晶圆的底部进行吸附固定，导致定位效果差，同时上述机械手主体上的重量较大，导致稳定性较差的问题，进而提高了用于传
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 212750834 U
(45)授权公告日 2021.03.19
(21)申请号 202021751252.5
(22)申请日 2020.08.20
(73)专利权人 无锡展硕科技有限公司
文档评论（0）