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一种基于MOVCD技术制备超导材料的喷淋控温装置.pdfVIP

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  • 2023-02-27 发布于北京
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一种基于MOVCD技术制备超导材料的喷淋控温装置.pdf

    本实用新型公开了一种基于MOVCD技术制备超导材料的喷淋控温装置，其涉及MOVCD技术领域。其技术方案要点包括喷淋板以及与所述喷淋板底壁接触的冷却板，所述喷淋板和冷却板内均设置有冷却管道。本实用新型在冷却板的基础上增加了基于喷淋板自身的冷却结构，两者结合从而能够提高控温精度，减小喷淋板温度波动对薄膜的影响。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 212983046 U (45)授权公告日 2021.04.16 (21)申请号 202021947801.6 (22)申请日 2020.09.08 (73)专利权人 东部超导科技（苏州）有限公司

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