第一传感器概述.pptVIP

在发展新型传感器中，离不开新工艺的采用。新工艺的含义范围很广，这里主要指与发展新型传感器联系特别密切的微细加工技术。该技术又称微机械加工技术，是近年来随着集成电路工艺发展起来的，它是离子束、电子束、分子束、激光束和化学刻蚀等用于微电子加工的技术，目前已越来越多地用于传感器领域。 3．新工艺的采用 例如利用半导体技术制造出压阻式传感器，利用薄膜工艺制造出快速响应的气敏、湿敏传感器，日本横河公司利用各向异性腐蚀技术进行高精度三维加工，在硅片上构成孔、沟棱锥、半球等各种开头，制作出全硅谐振式压力传感器。 第三十页，共五十九页，2022年，8月28日 4．集成化、多功能化 多功能一体化，即将传感器与放大、运算以及温度补偿等环节一体化，组装成一个器件。 把多个功能不同的传感元件集成在一起，除可同时进行多种参数的测量外，还可对这些参数的测量结果进行综合处理和评价，可反映出被测系统的整体状态。 为同时测量几种不同被测参数，可将几种不同的传感器元件复合在一起，作成集成块。例如一种温、气、湿三功能陶瓷传感器已经研制成功。 第三十一页，共五十九页，2022年，8月28日 5．智能化 对外界信息具有检测、数据处理、逻辑判断、自诊断和自适应能力的集成一体化多功能传感器，这种传感器具有与主机互相对话的功能，可以自行选择最佳方案，能将已获得的大量数据进行分割处理，实现远距离、高速度、高精度传输等。 智能传感器是传感器技术与大规模集成电路技术相结合的产物，它的实现取决于传感技术与半导体集成化工艺水平的提高与发展。这类传感器具有多功能、高性能、体积小、适宜大批量生产和使用方便等优点，是传感器重要的发展方向之一。 第三十二页，共五十九页，2022年，8月28日 §1.5 汽车传感器 1.5.1 概述 传感器将发动机工况与环境的信息通过各种信号即时、真实地传递到控制器ECU，也即，传感器是把非电量转换成电量的装置。 所以，传感器信息的准确性，再现性和即时性就直接决定控制的好坏。 第三十三页，共五十九页，2022年，8月28日 2.2.2 汽车传感器的分类 （1）按能量关系分类 主动型： 被动型 ： 需要外加输入电源(一般为+5V)，才能输出电子信号。 本身在吸收了能量(光能和热能)，经它本身变换后再输出电能。 如：采用压电效应、磁致伸缩效应、热电效应、光电效应等制成的传感器 如：采用电阻、电感、电容及应变效应、磁阻效应、热阻效应制成的传感器 （2）按信号转换分类 由一种非电量转换成另一种非电量 由非电量转换成电量 如：弹性敏感元件和气动传感器 如热电耦温度传感器、压电式加速度传感器 第三十四页，共五十九页，2022年，8月28日 （3）按输入量分类 ： 位移、速度、加速度、角位移、角速度、力、力矩、压力、真空度、温度、电流、气体成分和浓度传感器等 （4）按工作原理分类 ： 有电阻式、电容式、应变式、电感式、光电式、光敏式、压电式和热电式传感器等。 （5）按输出信号分类 模拟式 数字式 第三十五页，共五十九页，2022年，8月28日 1.5.2 传感器类型 类型 传感器示例 所涉及的系统及参数 温敏元件 冷却水温传感器ECT EGR，点火定时，燃油蒸发净化，怠速，空然比 进气温度传感器IAT 点火定时，空然比，增压压力 电位器 节气门位置传感器TP EGR,点火定时，燃油蒸发净化，空然比 翼片式空气流量传感器VAF 点火定时，空然比 信号发生器 排气氧传感器EGO 空然比 爆燃传感器KS 点火定时 进气管绝对压力传感器MAP EGR,点火定时，空然比 第三十六页，共五十九页，2022年，8月28日 汽车传感器按其使用功能大致有两类，一类是使司机了解汽车各部分状态的传感器，另一类传感器是用于控制汽车运行状态的控制传感器，如表1所示。 第三十七页，共五十九页，2022年，8月28日 1.5.3 汽车传感器的性能要求 (1)有较好的环境适应性。要求传感器能适应温度、湿度、冲击、振动、腐蚀及油液污染等恶劣工作环境。 (2)有较高的工作稳定性及可靠性。 (3)再现性好。 (4)具有批量生产和通用性。 (5)要求小型化，便于安装使用，检测识别方便。 (6)应符合有关标准要求。 第三十八页，共五十九页，2022年，8月28日 1.5.4 汽车传感器得选用原则 1．量程的选择 量程=测量上限-测量下限