一种空气芯微同轴传输线的制造方法及生物传感器.pdfVIP

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2023-03-01 发布于四川
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一种空气芯微同轴传输线的制造方法及生物传感器.pdf

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本发明公开了一种空气芯微同轴传输线的制造方法及生物传感器，所述制造方法包括：在衬底上形成微同轴传输线的外轴底层；在所述外轴底层上形成支撑层；在所述外轴底层上形成所述微同轴传输线的第一部分外轴侧壁，所述第一部分外轴侧壁与所述支撑层等高；在所述支撑层上形成所述微同轴传输线的内轴；在所述第一部分外轴侧壁上形成第二部分外轴侧壁，得到所述微同轴传输线的外轴侧壁；在所述外轴侧壁上形成所述微同轴传输线的外轴顶层，得到所述微同轴传输线。采用该制造方法得到的空气芯微同轴传输线形成传感器探头，还可以大大降低探头的损

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114188691 A (43)申请公布日 2022.03.15 (21)申请号 202111453342.5 G01N 27/327 (2006.01) (22)申请日