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多孔钛与金刚石膜复合膜制备系统.pdfVIP

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  • 2023-03-02 发布于四川
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多孔钛与金刚石膜复合膜制备系统.pdf

    本申请涉及复合膜制备技术领域，尤其是涉及一种多孔钛与金刚石膜复合膜制备系统，包括气相沉积反应室以及真空钎焊室；其中，气相沉积反应室设置有真空调节装置、第一加热装置以及充气部，且真空调节装置用于调节气相沉积反应室内的真空度，充气部用于向气相沉积反应室内通入沉积反应气体，第一加热装置用于对气相沉积反应室内的沉积反应气体加热；真空钎焊室设置有抽真空装置以及第二加热装置，抽真空装置用于对真空钎焊室抽真空，第二加热装置用于对真空钎焊室内的待焊工件进行加热焊接。可见，本申请提供的多孔钛与金刚石膜复合膜制备系

    (19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 218539819 U (45)授权公告日 2023.02.28 (21)申请号 202223051437.7 B23P 23/00 (2006.01)

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