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防止特气污染装置.pdfVIP

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  • 2023-03-02 发布于北京
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防止特气污染装置.pdf

    本实用新型涉及防止特气污染装置，包括控制箱，所述控制箱中设有特气供气盘面、氮气吹扫管路和原隔离阀门，所述原隔离阀门的一侧安设有新增隔离阀门，所述新增隔离阀门与所述原隔离阀门之间连接有新增压力传感器，所述特气供气盘面上安装有调配组件，为加强防止内部泄漏交叉污染，通过于特气柜盘面特定位置处增加阀件及压力传感器的形式,可及时发现问题并立即处理，有效防止当阀门有问题发生交叉污染时无法及时发现,当工艺制程出现问题时已经造成巨大损失的情况发生，解决了原先当正常供应特气时,氮气控制阀门是关闭状态,当发生控制阀

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213089446 U (45)授权公告日 2021.04.30 (21)申请号 202021998597.0 (22)申请日 2020.09.14 (73)专利权人 上海吉威电子系统工程有限公司

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