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- 2023-03-02 发布于四川
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本实用新型提出一种镀膜装置，包括：承载机构，用于承载工件，所述工件用于与所述工件镀膜用的靶材相邻设置；调速机构，连接所述承载机构，所述调速机构用于调整所述承载机构的自转速度；驱动机构，用于驱动所述调速机构调整所述承载机构的所述自转速度。本实用新型可提高工件的镀膜的一致性。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 213086095 U
(45)授权公告日 2021.04.30
(21)申请号 202020444440.7
(22)申请日 2020.03.31
(73)专利权人 深圳市裕展精密科技有限公司
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