1. 您所在位置：
  2. 网站首页
  3. 文档分类
  4. 行业资料
  5. 国内专利

多晶硅尾气回收系统.pdfVIP

  • 8
  • 0
  • 约1.15万字
  • 约 9页
  • 2023-03-04 发布于四川
  • 举报

多晶硅尾气回收系统.pdf

    本实用新型公开了一种多晶硅尾气回收系统，涉及多晶硅生产设备技术领域，主要目的是提供一种能够降低能源消耗的多晶硅尾气回收系统。本实用新型的主要技术方案为：一种多晶硅尾气回收系统，包括：分离罐，分离罐用于分离氯硅烷液体和氢气；换热部件，第一氢气管道设置在第一尾气管道的外部，循环水管道设置在第二尾气管道的外部，冷冻水管道设置在第一液体管道的外部，氯硅烷管道设置在第一气体管道的外部，第一气体管道连接于第一液体管道，第一尾气管道连接于第二尾气管道，第二尾气管道连接于第一液体管道，第一液体管道连接于分离罐，

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213171482 U (45)授权公告日 2021.05.11 (21)申请号 202021912593.6 (22)申请日 2020.09.04 (73)专利权人 新

    您可能关注的文档

    最近下载

    文档评论（0）

    1亿VIP精品文档

    更多 >

    相关文档

    更多 >