第五章x射线光电子能谱.pptVIP

第五章 X-射线光电子能谱(X-ray Photoelectron Spectroscopy (XPS) ESCA) 第一页，共二十页。 一 概述 表面分析技术 (Surface Analysis)是对材料外层(the Outer-Most Layers of Materials (100 ?))的研究的技术。包括： 1 电子谱学(Electron Spectroscopies) X-射线光电子能谱 XPS: X-ray Photoelectron Spectroscopy 俄歇能谱 AES: Auger Electron Spectroscopy 电子能量损失谱 EELS: Electron Energy Loss Spectroscopy 第二页，共二十页。 2 离子谱学 Ion Spectroscopies 二次离子质谱SIMS: Secondary Ion Mass Spectrometry 溅射中性质谱SNMS: Sputtered Neutral Mass Spectrometry 离子扫描能谱ISS: Ion Scattering Spectroscopy 第三页，共二十页。 二 XPS的概念 XPS也叫ESCA（ Electron Spectroscopy for C