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一种芯片晶圆自动装夹装置.pdfVIP

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  • 2023-03-08 发布于四川
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一种芯片晶圆自动装夹装置.pdf

    一种芯片晶圆自动装夹装置，包括装置主体，装置主体的下端设置有安装板，安装板的上端设置有一号安装孔，安装板的上端设置有活动板，活动板的上端设置有固定螺栓，活动板的上端设置有二号安装孔，装置主体的内侧设置有安装筒，安装筒的内侧设置有驱动电机，驱动电机的一侧设置有连接柱，连接柱的外表面设置有环形齿轮，装置主体的内侧设置有装夹板，装夹板的一侧设置有垂直齿带，装夹板的下端设置有防护胶块。本实用新型所述的一种芯片晶圆自动装夹装置，通过活动板、固定螺栓以及安装孔，便于与不同的机器进行安装，扩大了使用范围，比较

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213340334 U (45)授权公告日 2021.06.01 (21)申请号 202022096143.0 (22)申请日 2020.09.23 (73)专利权人 复汉海志（江苏）科技有限公司

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