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一种清理MOCVD上喷淋头的工具.pdfVIP

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  • 2023-03-08 发布于四川
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一种清理MOCVD上喷淋头的工具.pdf

    本实用新型公开了一种清理MOCVD上喷淋头的工具，包括与喷淋头匹配的圆形支架，所述圆形支架固定在喷淋头上；所述圆形支架上设有固定导轨，所述固定导轨上滑动设有基板，所述基板上设置有伸缩导轨，所述伸缩导轨的移动轨迹与固定导轨的移动方向在空间上垂直分布；所述伸缩导轨上设置有刷头安装座，所述刷头安装座上设置有与喷淋头接触的刷头。本实用新型一旦固定在喷淋头上时，其上的刷头与喷淋头的距离就固定了，从而刷头抵触喷淋头的力量也会固定下来，相比人工刷喷淋头，其受力均衡，对喷淋头的清理效果好，也减轻喷淋头清理时的劳

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213327825 U (45)授权公告日 2021.06.01 (21)申请号 202022361625.4 (22)申请日 2020.10.21 (73)专利权人 苏州尚勤光电科技有限公司

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