超精密加工技术.docx

1 1 当前周密和超周密加工精度从微米到亚微米，乃至纳米，在汽车、家电、IT 电子信息高技术领域和军用、民用工业有广泛应用。同时，周密和超周密加工技术的进展也促进了机械、模具、液压、电子、半导体、光学、传感器和测量技术及金属加工工业的进展。 周密及超周密加工-概念与范畴 周密加工 周密加工 通常，按加工精度划分，机械加工可分为一般加工、周密加工、超周密加工三个阶段。目前， 周密加工是指加工精度为 1~0.1μm，外表粗糙度为Ra0.1~0.01μm 的加工技术，但这个界限是随着加工技术的进步不断变化的，今日的周密加工可能就是明天的一般加工。 周密加工所要解决的问题，一是加工精度，包括形位公差、