一种长晶炉稳压供气装置.pdfVIP

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2023-03-10 发布于四川
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一种长晶炉稳压供气装置.pdf

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本实用新型涉及一种长晶炉稳压供气装置，该长晶炉稳压供气装置，包括气源；与气源相连的主气管；多个连接于主气管上的支气管，每个支气管上设有第一减压稳压阀；稳压系统，所述稳压系统包括连接于气源和靠近气源的支气管之间的第一气瓶，所述第一气瓶设于主气管上，所述第一气瓶的进气管道上设有增压阀，所述第一气瓶的出气管道上设有第二减压稳压阀。该长晶炉稳压供气装置，可以在一根主管道尽量控制多台设备情况下，尽量降低成本，并尽量保证每一个设备之间气相稳定，减少设备之间的影响。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213394635 U (45)授权公告日 2021.06.08 (21)申请号 202022221472.3 (22)申请日 2020.09.30 (73)专利权人山东天岳先进科技股份有限公司