(6.1)--6微细加工技术6.1微机械及其特征.pdfVIP

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2023-03-16 发布于陕西
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先进制造技术及工程应用概论 6 微细加工技术 6 微细加工技术 6.1 微机械及其特征 6.2 微细加工工艺方法 6.3 微细加工技术的发展与趋势 3 6.1 微机械及其特征 6.1 微机械及其特征微小机械 • 1‐10mm ；微机械1μm‐1mm ；纳米机械1nm‐1μm。体积小、精度高、重量轻 2 • 如直径如发丝的齿轮、开动3mm大小的汽车、花生米大的飞机、在5mm 内放置1000台的微型发动机。性能稳定、可靠性高 • 微机械体积小，热膨胀、噪声、挠曲等影响小，具有抗干扰性，可在较差环境下稳定的工作。能耗低、灵敏度、工作效率高 • 不存在信号延迟问题，可进行高速工作。 5 6.1 微机械及其特征消耗的能量远小于传统机械 3 • 如5*5*0.7mm 微型泵流速是比其体积大得多的小型泵流量的1000倍。多功能和智能化 • 集传感器、执行器、信号处理和电子控制电路为一体，易于实现多功能化和智能化。制造成本低 • 类似半导体制造工艺。 6 谢谢聆听