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用于晶体硅切割装置的冷却装置及切割装置.pdfVIP

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  • 2023-03-14 发布于四川
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用于晶体硅切割装置的冷却装置及切割装置.pdf

    本实用新型涉及一种用于晶体硅切割装置的冷却装置及切割装置，其中，冷却装置包括一槽体、与所述槽体连通的进液管、与所述槽体连通的出液结构，所述出液结构包括连通槽体的导流段、连接导流段且水平延伸的排液段，在液体的排出方向上，所述排液段内部的纵向尺寸逐渐减小。通过上述装置可有效增加冷却液的喷射距离，使得冷却液被带入到大尺寸硅棒的中部，对切割区域进行有效降温，同时将切割过程中产生的硅粉冲刷出来；另外，本实用新型提供的切割装置匹配冷却装置实现大尺寸硅棒在切割过程中的降温和冲刷硅粉的需求，此装置可有效提升硅片

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213563665 U (45)授权公告日 2021.06.29 (21)申请号 202021862755.X B28D 7/02 (2006.01) (22)申请日 20

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