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用于PECVD设备的配套供应系统.pdfVIP

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  • 2023-03-14 发布于四川
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用于PECVD设备的配套供应系统.pdf

    本实用新型提供了一种用于PECVD设备的配套供应系统，用于PECVD设备的配套供应系统包括循环水管路系统，循环水管路系统包括：进水管路装置，进水管路装置与腔体和/或设备组件连通；出水管路装置，出水管路装置与腔体和/或设备组件连通；其中，进水管路装置能够将冷却水输入腔体和/或设备组件以实现对PECVD设备的冷却降温功能。本实用新型的技术方案中，由于进水管路装置能够向PECVD设备的腔体和/或设备组件内输入冷却水，这样能够对PECVD设备进行整体地冷却降温，从而使得PECVD设备中需要降温的腔体和/

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213570729 U (45)授权公告日 2021.06.29 (21)申请号 202022452258.9 (22)申请日 2020.10.29 (73)专利权人 常州捷佳创精密机械有限公司

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