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- 2023-03-14 发布于四川
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本实用新型公开了高纯钌靶表面清洗装置，包括支架、液压缸、升降板、置物框和工作箱，所述液压缸固定连接在支架的上侧内壁上，所述升降板安装在液压缸的下端，所述置物框对接在升降板的下端，所述工作箱固定连接在支架的下侧内壁上，所述工作箱的内壁固定连接有滤网，所述工作箱的内壁且靠近滤网的下端固定连接有储料箱，所述储料箱的左右两侧安装有喷射机构，所述支架的侧壁上安装有干燥机构。该高纯钌靶表面清洗装置在使用时，通过滤网、导料板和储料箱等结构的配合使用，从而达到了冲洗方便的效果，通过弹簧、活动板和导热块等结构的配
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 213558707 U
(45)授权公告日 2021.06.29
(21)申请号 202022202127.5
(22)申请日 2020.09.30
(73)专利权人 河南东微电子材料有限公司
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