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本实用新型公开了一种MEMS传感器及智能电子终端，包括：基板和盖板，所述基板包括用于承载所述MEMS芯片的第一面、以及与所述第一面相对设置的第二面；在所述基板的第一面上设置有微孔结构，所述微孔结构被配置为连通外界环境与所述封装腔体；所述基板上设置有自所述第二面向所述第一面的方向凹陷的槽体，所述槽体内安装有防水组件；所述防水组件包括覆盖所述微孔结构的防水部件，以及与所述防水部件对应设置的保护部件；所述保护部件设置在所述防水部件的远离所述微孔结构的一侧。本实用新型的MEMS传感器在保持基板凹槽深度的
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 213783592 U
(45)授权公告日 2021.07.23
(21)申请号 202021749908.X
(22)申请日 2020.08.20
(73)专利权人 潍坊歌尔微电子有限公司
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