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- 2023-03-29 发布于四川
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本实用新型涉及半导体硅片技术领域，且公开了一种半导体硅片导片器，包括工作台，所述工作台的顶部开设有活动槽，所述活动槽的内底壁固定连接有伸缩推杆，所述伸缩推杆的顶端固定连接有顶块，所述顶块的顶部开设有弧形槽，所述工作台的顶部固定连接有两个支撑板，所述支撑板的顶部固定连接有顶板，所述顶板的内部开设有导向孔。该半导体硅片导片器，通过伸缩推杆、顶块、支撑板、顶板、导向孔、导向杆、保护罩、第一插槽、滑槽、滑杆、固定条和第二插槽之间的相互配合，可以将硅片花篮内部的硅片顶出，并通过保护罩和两个固定条对硅片进行
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 214012918 U
(45)授权公告日 2021.08.20
(21)申请号 202022850671.0
(22)申请日 2020.12.01
(73)专利权人 开化晶芯电子有限公司
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