一种硅片垂直转水平传输防滑移装置.pdfVIP

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  • 2023-04-04 发布于四川
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一种硅片垂直转水平传输防滑移装置.pdf

本实用新型涉及一种硅片垂直转水平传输防滑移装置,包括月亮弯板和滚轴,所述月亮弯板上设有圆弧部,月亮弯板的两端分别设有滚轴;所述月亮弯板和滚轴上设置平皮带,滚轴转动从而带动平皮带移动;所述月亮弯板的圆弧部表面开有凹槽,月亮弯板的一侧侧部开有吸风口,所述吸风口与凹槽连通;所述平皮带上均布排孔。本实用新型使硅片在由垂直转水平传输过程中保持稳定,防止产生滑移。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 214099611 U (45)授权公告日 2021.08.31 (21)申请号 202120188977.6 (22)申请日 2021.01.22 (73)专利权人 无锡市南亚科技有限公司

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