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T/CNIA XXXX-XXXX T/CNIA XXXX-XXXX PAGE 6 PAGE 3 硅片切割废料回收硅 1 范围 本文件规定了硅片切割废料回收硅的要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存、质量证明书和订货单（或合同）内容。 本标准适用于以太阳能级多晶硅、太阳能级单晶硅、电子级多晶硅和电子级单晶硅的硅片切割废料为原料所生产的回收硅产品，主要用于配置合金、生产有机硅、制备碳化硅陶瓷和制取多晶硅等。 2 规范性引用文件 下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。 GB/T 8170 数值修约规则与极限数值的表示和判定 GB/T 14849 (所有部分) 工业硅化学分析方法 GB/T 24574 硅单晶中Ⅲ-Ⅴ族杂质的光致发光测试方法 GB/T 24581 低温傅里叶变换红外光谱法测量硅单晶中Ⅲ、Ⅴ族杂质含量的测试方法 GB/T 24582 酸浸取-电感耦合等离子质谱仪测定多晶硅表面金属杂质 GB 5085.7—2019 危险废弃物鉴别标准 通则 GB 18599 一般工业固体废物储存、处置污染控制标准 GB/Z 2.1-2019《工作场所有害因素职业接触限值 第1部分:化学有害因素》 3 术语与定义 硅片切割废料 Scrap produced by wafer cutting 在太阳能级多晶硅、太阳能级单晶硅和电子级硅的硅棒切割、研磨或抛光过程中产生的废硅粉和不合格的硅片。 硅片切割废料回收硅 Recycled silicon produced from the waste produced by wafer cutting 以硅片切割废料为原料所生产的回收硅产品。 4 要求 4.1 化学成分与分类 硅片切割废料回收硅按元素含量进行分级，共分为5级，每一级产品应该同时满足本级产品成分要求，各级产品元素含量应符合表1的规定。 4.4.1 常规检测元素含量 需常规检测的元素含量应符合表1的规定。需方需要其他微量元素含量时，可参见表2或由供需双方协商确定后在订货单（或合同）中具体注明。 表1 硅片切割废料回收硅常规检测元素含量（质量分数）/% 等级 名义硅含量a， 不小于 主要杂质元素含量，不大于 Fe Al Ca B P 一级 99.93 0.05 0.01 0.01 1×10-4 2×10-4 二级 99.85 0.10 0.03 0.02 5×10-4 10×10-4 三级 99.72 0.20 0.05 0.03 10×10-4 20×10-4 四级 99.55 0.30 0.10 0.05 15×10-4 30×10-4 五级 99.30 0.40 0.20 0.10 20×10-4 40×10-4 注：分析结果的判定采用修约比较法，数值修约规则按GB/T 8170-2019的规定进行，修约数与表中所列极限数值位一致。 a 名义硅含量应不低于100%减去铁、铝、钙、硼和磷元素含量总和的值。 4.4.2 微量杂质元素含量 需方对硅片切割废料回收硅中的微量杂质元素含量有要求时，应在订货单（或合同）中注明“要求微量杂质元素含量”，具体要求应符合表2的规定。供需双方对微量杂质元素含量有其他要求时，由供需双方协商确定后再订货单（或合同）中具体注明。 表2 硅片切割废料回收硅微量杂质元素含量（质量分数）/% 用途 类别 微量杂质元素含量，不大于 Ni Ti C Mn Pb K Mg Cr 多晶用硅 高精级 40×10-4 60×10-4 400×10-4 40×10-4 40×10-4 60×10-4 50×10-4 80×10-4 普精级 60×10-4 80×10-4 600×10-4 60×10-4 60×10-4 80×10-4 70×10-4 100×10-4 有机 用硅 高精级 60×10-4 70×10-4 — 60×10-4 50×10-4 — 普精级 90×10-4 100×10-4 — 80×10-4 70×10-4 — 碳化 用硅 高精级 80×10-4 80×10-4 — 80×10-4 80×10-4 — 普精级 100×10-4 110×10-4 — 100×10-4 100×10-4 — 合金 用硅 高精级 80×10-4 80×10-4 — — — — 普精级 100×10-4 110×10-4 — — — — 冶金 用硅 — — — — — — — 4.2 规格 硅片切割废料回收硅的尺寸应符合供需双方签订的图样的规定。 4.3 粒度 硅片切割废料回收硅粒度范围及允许偏差应符合表3的规定，需方对粒度有特殊要求时，由供需双方协商确定后在订货单（或合同）中具体注明。 表