原创力文档- 6
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- 2023-04-06 发布于四川
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本实用新型涉及一种机械手臂，包括手臂主体和用于控制所述手臂主体运动以取放硅片的控制结构，所述手臂主体包括：连接臂；用于夹持硅片的第一夹爪和第二夹爪，沿所述连接臂的延伸方向，所述第一夹爪和所述第二夹爪相对且间隔设置于所述连接臂上；硅片校正结构，设置于所述连接臂靠所述控制结构的第一端，用于对待夹取硅片的位置进行校正，使得待夹取硅片位于待夹取位置。本实用新型还涉及一种硅片传输系统。通过硅片校正结构的设置，使得待夹取硅片移动至待夹取位置，避免由于硅片放置异常导致的硅片破片等情况的发生。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 215395213 U
(45)授权公告日 2022.01.04
(21)申请号 202123026948.9 B24B 29/02 (2006.01)
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