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东区电池效率提升经验分享 东区电池制造 2010.3.19 * 第一页，共十八页。 电池转换效率大幅提升 升0.55％ 升1.78％ 升1.02％ 降1.00％ 降0.23％ 升26.7％ 升8.23％ 降18.2％ 升3.69% 工序标准化贡献~0.15％ 高阻贡献~0.17％ 88nm膜厚贡献~0.18％ 电性能提升：转换效率从开线时16.30％提高至目前16.80％; 第二页，共十八页。 试验模型： Case1 高方阻工艺DOE－试验模型 此模型应用到电池扩散，具体对应关系如下： 输入： 制绒后的硅片 可控因子-：气流，温度，时间，压强 噪声因子：时效，片源，机台 输出：扩散质量，磷浓度分布曲线 输出将直接决定转化效率 第三页，共十八页。 因子选择与控制： 可控因子选择 气流：N2,POCL3,O2中选择POCL3作为key factor，以控制磷的掺杂总量和均匀性； 温度：温度影响磷的掺杂总量，浓度分布，作为key factor； 时间：淀积时间，推进时间影响磷的掺杂总量，浓度分布，作为key factor ； 压强：由于压强的波动相对于其绝对值非常小，对制程影响将较小； 噪声因子控制 片源：通过等份混片，保证片源一致； 时效：技术员全程跟踪，尽量减少硅片的滞留时间； 机台：保证路径一样； Case1 高方阻工艺DOE－因子选择 第四页，共十八页。 第一组试验： 对以上可控因子进行田口设计，生成L9试验方案,找出最佳方案---E3： 第二组试验： 根据第一组试验结果，进行第二组试验确定时间，试验方案为全因子设计，找出最佳方案---E6 注：时间为淀积时间+推进时间， 试验组别 主反应温度(℃) POCL3流量(sccm) 时间(m) E1 830 750 14+12 E2 830 950 18+16 E3 830 1100 22+20 E4 850 750 18+16 E5 850 950 22+20 E6 850 1100 14+12 E7 870 750 22+20 E8 870 950 14+12 E9 870 1100 18+16 试验组别 淀积时间(m) 推进时间(m) POCL3流量(sccm) 主反应温度(℃) E1 16 14 1000 830 E2 16 16 1000 830 E3 16 18 1000 830 E4 18 14 1000 830 E5 18 16 1000 830 E6 18 18 1000 830 E7 20 14 1000 830 E8 20 16 1000 830 E9 20 18 1000 830 Case1 高方阻工艺DOE－L9实验 第五页，共十八页。 因子选择与控制： 可控因子选择： 气流：流量比例影响薄膜成分组成； 压强：影响膜的均匀性； 膜厚：影响减反射效果； 烧结温度：影响氢分布和钝化效果； 噪声因子控制： 片源：通过等份混片，保证片源一致； 时效：技术员全程跟踪，尽量减少硅片的滞留时间； 机台：保证路径一样； Case2 高膜厚工艺DOE-因子选择 第六页，共十八页。 第一组试验： 对以上可控因子进行田口设计，生成L9试验方案,找出最佳方案Recipe7： 第二组试验： 根据第一组试验结果，进行第二组试验，添加后到烧结因素，找出最佳方案---recipe 7 Case2 高膜厚工艺DOE-L9试验 第七页，共十八页。 Case3 丝网烧结DOE实验-因子选择 * 因子选择与控制： 可控因子选择： 温度：烘干温度(DryerT1/T2/T3/T4)；烧结温度(Firing T1/T2/T3/T4/T5/T6), 各温区对烧结起到特定的作用, 烧结区T4/T5/T6为影响烧结效果的主要因子, 气流：温场控制气流,排风,冷却气流(确保温场无波动,调节后反应滞后-小于2℃,设定) 冷却水:确保冷却效果,设定 时间：烧结炉经过时间(决定产量, 设定速度230inch/min) 噪声因子控制： 片源：通过等份混片，保证片源一致； 时效：技术员全程跟踪，尽量减少硅片的滞留时间； 机台：保证路径一样； 环境: 环境温度,冷却水温度,外围排风 第八页，共十八页。 Case3 丝网烧结DOE实验-L9试验 * 选取主烧结温度T4/T5/T6进行田口设计,生成L9试验方案,得到最佳温度组合Recipe5 根据第一组试验结果,重新设计第二组试验方案,得到最佳温度组合Recipe5 据第2组实验结果,进行T4/T5/T6的部分因子优化,得到各机台的最佳烧结温度 第一组试验： 第二组试验： 第九页，共十八页。 Case4