原创力文档- 1
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- 2023-04-15 发布于四川
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本实用新型涉及芯片搬运技术领域，尤其是一种转盘式集成电路芯片搬运装置，其中转盘上的多个搬运单元包括管路一、管路二、吸嘴和控制阀组件，控制阀组件包括阀体、阀芯和弹簧一，阀芯的下端安插在阀体型腔，阀芯的下端和型腔底面之间设有弹簧一，阀体的侧壁上分别开设真空进气孔、真空出气孔和破真空气孔，阀芯的外周壁沿周向开设环形气流槽，在无外力作用在阀芯上时，真空进气孔通过气流槽和真空出气孔连通；真空进气孔通过管路一和吸嘴连通，真空出气孔通过管路二和真空泵连通，可升降下压装置下降能够按压阀芯的上端使得阀芯下降至破真
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 215709995 U
(45)授权公告日 2022.02.01
(21)申请号 202121879885.9
(22)申请日 2021.08.11
(73)专利权人 江苏信息职业技术学院
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