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一种碳化硅籽晶的固定结构.pdfVIP

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  • 2023-04-15 发布于四川
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一种碳化硅籽晶的固定结构.pdf

    本实用新型公开了一种碳化硅籽晶的固定结构，包括碳化硅籽晶、金属箔片和晶托，碳化硅籽晶的上表面设有碳化膜，金属箔片设置在碳化膜与晶托之间，金属箔片加热后与碳化硅籽晶、晶托固定连接。本实用新型具有无需使用粘接剂以避免其对碳化硅籽晶的腐蚀，紧密固定籽晶，提高碳化硅晶体的质量和良品率等优点。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 215668287 U (45)授权公告日 2022.01.28 (21)申请号 202122297626.1 (22)申请日 2021.09.18 (73)专利权人 浙江大学杭州国际科创中心

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