原创力文档- 2
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- 2023-04-16 发布于四川
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本实用新型公开了一种硅芯拉制加热装置，属于多晶硅生产设备技术领域，其包括：石英筒，石英筒上依次绕设有加热炉丝并套设纤维护套；料座，用于固定硅料，硅料另一端置于石英筒内。本实用新型通过加热炉丝对石英筒内的硅料进行加热，石英筒能够隔离加热过程中的金属(加热炉丝)扩散，避免硅料被污染；纤维护套一方面能够避免加热炉丝裸露于空气中，防止加热炉丝的金属微粒扩散对硅料造成污染，另一方面具有保温作用，能够在低功耗下维持较高加热温度，大大降低了电能损耗。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 215713524 U
(45)授权公告日 2022.02.01
(21)申请号 202122102145.0
(22)申请日 2021.09.02
(73)专利权人 青
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