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- 2023-04-16 发布于四川
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本实用新型提供一种靶材清洗装夹装置，所述靶材清洗装夹装置包括凹字形的靶材承装部件和夹块，所述夹块安装在靶材承装部件上；所述夹块包括L型装夹口和主体部，所述主体部远离L型装夹口的部分包括弯曲面，所述夹块包括第一夹块、第二夹块和第三夹块。本实用新型所述靶材清洗装夹装置对靶材清洗效果好，并大大节省了人力，而且该靶材清洗装夹装置方便靶材安装和拿取，在清洗过程中能够有效固定靶材。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 215696618 U
(45)授权公告日 2022.02.01
(21)申请号 202122190328.2
(22)申请日 2021.09.10
(73)专利权人 宁波江丰电子材料股份有限公司
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