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一种MOCVD加热器用隔热组件.pdfVIP

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  • 2023-04-16 发布于四川
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一种MOCVD加热器用隔热组件.pdf

    本实用新型公开了一种MOCVD加热器用隔热组件，包括加热器本体、卡合机构和固定机构，加热器本体上设有加热片，加热器本体与加热片之间设有卡合机构，卡合机构包括安装箱，安装箱内设有随动板，随动板上连接有连接板，连接板远离随动板的一侧连接有卡合块，卡合机构的一侧设有固定机构，安装箱上开凿有与随动板相匹配的滑动槽，卡合块上连接有受导杆，安装箱上开凿有与受导杆相匹配的斜坡下压槽。本实用新型通过MOCVD加热器上相应机构的设置，使隔热组件的拆装更加方便，减少了拆装时携带的工具，缩减了拆装的步骤，降低了隔热组

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 215713367 U (45)授权公告日 2022.02.01 (21)申请号 202122163279.3 (22)申请日 2021.09.08 (73)专利权人 江苏实为半导体科技有限公司

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