一种MOCVD反应室用粉尘清理设备.pdfVIP

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2023-04-18 发布于北京
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一种MOCVD反应室用粉尘清理设备.pdf

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本实用新型公开了一种MOCVD反应室用粉尘清理设备，包括：粉尘清理罐、支撑罐座、冷却过滤机构、废气净化机构；支撑罐座设于粉尘清理罐的一侧；冷却过滤机构设于粉尘清理罐内，冷却过滤机构包括固定轴，固定轴的外侧连接有螺旋冷却滤板，螺旋冷却滤板内连接有多个均匀分布的冷却毛细管；废气净化机构设于粉尘清理罐远离支撑罐座的一侧，废气净化机构包括负压风机，负压风机远离粉尘清理罐的一侧设有多个均匀分布的净化吸附网。本实用新型通过改善MOCVD反应室用粉尘清理设备的粉尘清理方式，缩短了MOCVD反应室的粉尘清理周期

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 215782465 U (45)授权公告日 2022.02.11 (21)申请号 202122165359.2 (22)申请日 2021.09.08 (73)专利权人江苏实为半导体科技有限公司