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- 2023-04-21 发布于四川
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本发明公开一种晶圆级芯片封装结构及其封装方法。封装结构主要包含:一基板及一芯片。芯片倒置贴装于基板表面,芯片的功能面与基板之间有一封闭的空腔。该封装结构整体可在一个基板上形成,工艺简单,可以有效的缩小封装尺寸,减薄厚度,并且整体结构的气密性能够有效保障。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113889446 A
(43)申请公布日 2022.01.04
(21)申请号 202010634580.5
(22)申请日 2020.07.02
(71)申请人 江苏
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