电阻式随机存取存储器及其制造方法.pdfVIP

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  • 2023-04-21 发布于四川
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电阻式随机存取存储器及其制造方法.pdf

提供一种电阻式随机存取存储器及其制造方法。此电阻式随机存取存储器包含基底、第一介电层、底电极、电阻转换层、氧原子交换层、阻挡层以及顶电极。前述第一介电层设置于基底上。前述底电极设置于第一介电层上。前述电阻转换层设置于底电极上。前述氧原子交换层设置于电阻转换层上,其中氧原子交换层与电阻转换层的接触面积小于电阻转换层的顶面面积。前述阻挡层设置于氧原子交换层上。前述顶电极设置于阻挡层上。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113889569 A (43)申请公布日 2022.01.04 (21)申请号 202010626425.9 (22)申请日 2020.07.02 (71)申请人 华邦电子股份有限公司

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