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- 2023-04-21 发布于四川
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本发明提出了一种包层集成微透镜的阵列波导光栅解复用器芯片及制备方法，用以解决现有阵列波导光栅解复用器芯片在垂直方向上与探测器之间耦合时出现的光电转换效率偏低的技术问题。本发明的制备方法制备的阵列波导光栅解复用器芯片在45°全反射光路的包层表面利用半导体工艺加工一个微透镜，光束在芯区层内沿水平传播至输出波导处，经输出波导处的45°全反射角反射，光束沿竖直方向经过包层，经包层上与芯区层相对应的微透镜进行聚焦，光束的尺寸减小，使光束大部分光束能量能被探测器的光接收面接收到，提高光耦合效率，且微透镜的存
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113900179 A
(43)申请公布日 2022.01.07
(21)申请号 202111258733.1 G02B 6/136 (2006.01)
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