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一种远程等离子源真空腔体.pdfVIP

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  • 2023-04-21 发布于四川
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一种远程等离子源真空腔体.pdf

    本发明公开了一种远程等离子源真空腔体，涉及等离子源真空腔体技术领域。本发明包括中间开设有正N边形开口且整体呈环状的正N边形主体、进气端以及出气端、磁芯；正N边形主体采用若干连接块拼接而成，相邻连接块之间采用密封圈密封连接，连接块内开设有空腔，各连接块连接后形成连通式的整体空腔；进气端和出气端呈前后对称式安装于正N边形主体上，且进气端、出气端上分别设置有与整体空腔相连通的进气口、出气口，位于进气端的侧部设置有与进气口相连通的点火口。本发明结构有利于加工、安装、检修、维护以及损坏更换，大大提高了使用

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113889393 A (43)申请公布日 2022.01.04 (21)申请号 202110907984.1 (22)申请日 2021.08.09 (71)申请人 上海财盈半导体股份有限公司

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