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MOSFET产业发展行动计划
支持技术难度大、应用价值高、通用性强、对电子元器件行业带动大的配套电子专用设备与仪器,如刻蚀显影设备等工艺设备、显微CT等检测分析仪器的研发及产业化,提升设备仪器质量和可靠性水平。
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