一种贴膜装置及贴膜方法.pdfVIP

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  • 2023-04-23 发布于北京
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本发明的实施例公开了一种贴膜装置及贴膜方法,该贴膜装置包括:载台;移动网箱,与所述载台相对设置,且设于所述载台下方;弹性膜层,设于所述载台靠近所述移动网箱的一侧表面,用于放置待贴膜基板,所述弹性膜层远离所述载台的一侧表面上设置有若干凹坑;保护膜,设于移动网箱靠近所述弹性膜层的一侧表面;所述载台与所述移动网箱可相互靠近而将保护膜贴合在所述基板表面。根据本发明,在载台的一侧设置弹性膜层,在弹性膜层的固定面上设置有若干凹坑,基板在弹性膜层上拖动时,凹坑会收集一部分微粒,减少微粒对基板的刮伤;同时,由于

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113968377 A (43)申请公布日 2022.01.25 (21)申请号 202111485650.6 (22)申请日 2021.12.07 (71)申请人 TCL华星光电技术有限公司

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