电子显微技术扫描电子显微镜.docx

第五章 电子显微技术 第一节 扫描电子显微镜（SEM） 一、扫描电镜的结构和基本原理 扫描电镜是利用细聚焦的电子束，在样品表面逐点扫描，用探测器收集在电子束作 图 5-1 KYKY-1000B 扫描电镜外貌图 用下，样品中产生的电子信号，把信号转换成图像的仪器。 扫描电镜的结构分为电子光学系统，信号收集、图像显示和记录系统，真空系统。图 5-1、图 5-2 为扫描电镜外型图和主机构造示意图。 （一） 光学系统 这部分主要由电子枪，电磁透镜，扫描线圈，样品室组成，电子枪提供一个稳定的电子源，形成电子束，一般使用钨丝阴极电子枪，用直径约为0.1mm 的钨丝，弯成发夹形，形成半径约为 100μm 的 V 型尖端，当灯丝电流通过时，灯丝被加热，达到工 图 5-2 扫描电镜主机结构 作温度后便发射电子，在阴极和阳极间加有高压，这些电子则向阳极加速运动，形成电子束。 电子束在高压电场作用下，被加速通过阳极轴心孔进入电磁透镜系统。该系统由聚光镜和物 镜组成，其作用是依靠透镜的电磁场与运动电子相互作用使电子束聚焦将电子枪发射的电子 束约 10~50μm,压缩成 5~20nm，缩小约 1/10000。聚光镜可以改变入射到样品上电子束流的大小，物镜决定电子束束斑的直径。电子光学系统中存在球差，色差，象散，影响最终图象的质量。球差的产生是远离光轴轨迹上运动的电子比近轴电子受到的聚焦作用更强。克服的