一种颗粒硅的拉晶工艺.pdfVIP

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  • 2023-04-24 发布于北京
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本发明公开了一种颗粒硅的拉晶工艺。向加料桶内加颗粒硅,使颗粒硅铺地,并向炉膛内通入氩气;然后将加料桶埚降至第一预设位置,将水冷屏提升至上限位置,通过加料桶向炉膛内进行第一次颗粒硅加料,并间隔预设时间间隔,通过加料桶向炉膛内进行N次颗粒硅加料,直至炉膛内液体硅的重量达到预设重量,通过上述公开的拉晶工艺,能够在通过加料桶向炉膛内加入颗粒硅过程中,以及在颗粒硅化料过程中,均能够有效避免液态硅溅起,进而能够有效减小颗粒硅的引放次数,提升硅棒的生产效率。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114016124 A (43)申请公布日 2022.02.08 (21)申请号 202111307509.7 (22)申请日 2021.11.05 (71)申请人 双良硅材料(包头)有限公司

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