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- 2023-04-25 发布于四川
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本发明公开一种多镜激光维持等离子体宽带光源。所述光源可包含用于容纳气体的气体容纳结构。所述光源包含经配置以生成泵浦照明的泵浦源及经配置以将所述泵浦照明的一部分引导到所述气体中以维持等离子体的第一反射器元件。所述第一反射器经配置以收集从所述等离子体发射的宽带光的一部分。所述光源还包含与所述第一反射器相对定位的一或多个额外反射器元件。所述一或多个额外反射器元件经配置以将未吸收泵浦照明及未由所述第一反射器元件收集的宽带光反射回到所述等离子体。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114073169 A
(43)申请公布日 2022.02.18
(21)申请号 202080049165.1 (74)专利代理机构 北京律盟知识产权代理有限
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