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- 2023-04-25 发布于北京
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本发明提出一种流体设备(1),所述流体设备具有构造成用于容纳流体的流体腔室(5),所述流体腔室由设备壳体(3)和弯曲弹性的膜片元件(4)共同限定。所述膜片元件(4)以外围的边缘区段(17)流体密封地固定在所述设备壳体(3)处并且具有由所述外围的边缘区段(17)围起来的膜片工作区段(27),所述膜片工作区段为了改变所述流体腔室(5)的容积能够通过压电致动器(7)进行偏转。所述膜片元件(4)由橡胶弹性的材料制成,其中,所述压电致动器(7)具有沿着所述膜片工作区段(27)延伸的驱动区段(42),所述驱
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114060257 A
(43)申请公布日 2022.02.18
(21)申请号 202110876345.3
(22)申请日 2021.07.30
(30)优先权数据
102020209
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