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用于半导体装置的数字线及主体接触件.pdfVIP

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  • 2023-04-25 发布于四川
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用于半导体装置的数字线及主体接触件.pdf

    本申请案涉及用于半导体装置的数字线及主体接触件。提供用于具有水平定向的存取装置、垂直定向的存取线的垂直堆叠的存储器单元阵列的系统、方法及设备，其中所述水平定向的存取装置具有通过沟道区分离的第一源极/漏极区及第二源极漏极区、及与所述沟道区对置的栅极，所述垂直定向的存取线耦合到所述栅极且通过栅极电介质与沟道区分离。所述存储器单元具有耦合到所述第二源极/漏极区的水平定向的存储节点及耦合到所述第一源极/漏极区的水平定向的数字线。垂直主体接触件经形成与所述水平定向的存取装置中的一或多者的主体区直接电接触且

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114068423 A (43)申请公布日 2022.02.18 (21)申请号 202110585269.0 (22)申请日 2021.05.27 (30)优先权数据 16/943,49

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