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抛光液及其制备方法.pdfVIP

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  • 2023-04-25 发布于四川
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抛光液及其制备方法.pdf

    本发明提供一种抛光液，包含磨料、腐蚀剂、润滑剂、表面活性剂、悬浮分散剂、及水，所述磨料的表面富含活性官能团，所述活性官能团为酯基、氨基、羧基、及硅烷中的至少一种，所述腐蚀剂包括第一腐蚀剂和第二腐蚀剂，所述第一腐蚀剂为酸和碱中的至少一种，所述第二腐蚀剂为盐。本发明还提供一种抛光液的制备方法。本发明的抛光液具有使用寿命长、抛光效率高、抛光良率高、及成本低的优点。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114059069 A (43)申请公布日 2022.02.18 (21)申请号 202111453016.4 (22)申请日 2021.12.01 (71)申请人 深圳市朗纳研磨材料有限公司

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