三维存储器及其制作方法.pdfVIP

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2023-04-26 发布于四川
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三维存储器及其制作方法.pdf

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本公开涉及一种三维存储器及其制作方法，该三维存储器包括：栅极堆叠结构，栅极堆叠结构包括沿第一方向并列设置且直接接触的核心区和台阶区；虚拟分隔结构，在第一方向贯穿台阶区；栅极分隔结构，在第一方向贯穿核心区，栅极分隔结构具有在第一方向与虚拟分隔结构相接触的第一端部，虚拟分隔结构具有在第一方向与栅极分隔结构相接触的第二端部，且第一端部位于第二端部内。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114080685 A (43)申请公布日 2022.02.22 (21)申请号 202180003208.7 (51)Int.Cl.