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- 2023-04-26 发布于四川
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本发明实施例提供了一种探针校准方法、表面测量方法以及探针控制设备，涉及控制技术领域。探针校准方法包括：控制多个探针对目标表面上的多个区域进行多次测量，并获取在每次测量时各探针测量对应的区域得到的高度信息；在多次测量过程中每个探针与相邻的探针对目标表面的同一个区域进行测量；对于每个探针，将探针与目标探针对同一区域测量得到的高度信息进行对比，确定探针与目标探针在高度方向上的高度差值；目标探针为与探针相邻的探针；选取任一探针作为基准探针，并基于各探针与对应的目标探针在高度方向上的高度差值，得到各探针与
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114088979 A
(43)申请公布日 2022.02.25
(21)申请号 202111566555.9
(22)申请日 2021.12.20
(71)申请人 百及纳米科技（上海）有限公司
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