一种对称折叠弹性梁结构MEMS微镜及其制作方法.pdfVIP

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2023-04-26 发布于四川
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一种对称折叠弹性梁结构MEMS微镜及其制作方法.pdf

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本发明提供一种对称折叠弹性梁结构MEMS微镜及其制作方法，该MEMS微镜包括框架、可动微光反射镜、对称折叠弹性梁结构及梳齿结构，其中，对称折叠弹性梁结构包括第一、第二折叠弹性梁，第一折叠弹性梁、可动微光反射镜及第二折叠弹性梁在第一方向上依次连接，且第一、第二折叠弹性梁相对于可动微光反射镜对称设置。本发明采用双器件层基底来制作MEMS微镜，可以简化工艺流程，提高器件的驱动及可靠性性能，并且对称折叠弹性梁结构关于可动微光反射镜具有高度对称的特征，在受到冲击或振动时不会产生任何的扭矩，提高了MEMS微

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114077047 A (43)申请公布日 2022.02.22 (21)申请号 202010843569.X (22)申请日 2020.08.20 (71)申请人安徽中科米微电子技术有限公司