薄膜电池与单晶硅电池比较.pptVIP

单晶硅工艺设备 多晶硅工艺设备 非晶硅工艺设备 1 硫化床反应器 硫化床反应器 硫化床反应器 2 分馏塔 分馏塔 分馏塔 3 热解炉 热解炉 4 尾气回收系统 尾气回收系统 尾气回收系统 5 单晶炉 多晶硅浇铸炉 TCO沉积炉 6 硅棒切断机 破锭机 激光切割机（3台） 7 滚圆机 磁控溅射系统 8 线锯切方 切方机(多线切割机) 玻璃清洗机 9 线切片机 线切片机 喷沙去边机 10 硅片清洗 硅片清洗 11 硅片检测与分类 硅片检测与分类 12 石英坩埚制备 石英坩埚制备 13 石墨制备 石墨制备 14 硅片清洗与织构化（三次） 硅片清洗与织构化（三次） 15 等离子去边机 等离子去边机 16 扩散炉 扩散炉 17 丝印机（3台） 丝印机（3台） 18 PECVD设备 PECVD设备 PECVD设备 19 烧结炉 烧结炉 老化炉 20 分选机 分选机 分选机 21 自动焊接机 自动焊接机 超声焊机 22 层压机 层压机 层压机 23 测试台 测试台 测试台 晶体硅电池设备 与 非晶硅电池设备 的比较 非晶硅电池与晶体硅电池工艺比较 单晶硅 多晶硅 非晶硅 氢氯化工艺 氢氯化工艺 氢氯化工艺 分馏工艺 分馏工艺 分馏工艺 热解(1100oC) 热解(1100oC) 尾气回收 尾气回收 尾气回收 拉单晶(1400oC) 浇铸（1400oC ） 断头，切方 破锭 切片 切片 3（RCA