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本申请公开了一种驱动基板及其制备方法、显示面板。所述驱动基板包括依次设置的基底、氧化物半导体层、刻蚀阻挡层以及水氧阻隔层；所述氧化物半导体层包括沟道；所述刻蚀阻挡层覆盖所述沟道；所述水氧阻隔层于所述基底所在平面的正投影与所述沟道于所述基底所在平面的正投影至少部分重叠。本申请在提高TFT器件水氧阻隔性能的同时，降低了TFT器件产生负漂的几率。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114171603 A
(43)申请公布日 2022.03.11
(21)申请号 202111491826.9
(22)申请日 2021.12.08
(71)申请人 深圳市华星光电半导体显示技术有
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