SEM样品制备课件.pptxVIP

SEM样品制备;;1、 对样品要求;; 真空度 优缺点; SEM样品制备得一般步骤1、 从大得样品上确定取样部位;2、 根据需要,确定采用切割还就是自由断裂得到表界面;3、 清洗;4、 包埋打磨、刻蚀、喷金处理。;2、 样品得预处理;3、 基本制样工具;1、 块样 对于金属、岩矿或无机物,切割成要求得尺寸,粘在样品台上。如果样品数量多,注意样品尺寸最好一致。 微区成分分析样品表面应该平坦或经研磨抛光,可以保证检测时几何条件不变。对于样品得断口面,要选择起伏不大得部位,最好就是分析点附近有小得平坦区。样品表面和底面应该平行。;金属或陶瓷样品制备抛光截面 a) 树脂镶嵌 b) 金属夹板;大家学习辛苦了，还是要坚持;2、 粉样 (1)微米级粉料 * 将粉样撒在样品台得导电胶上,用手指轻弹样品台四周,粉料会均匀地向四周移动,铺平一层,侧置样品台,把多余粉料抖掉; * 用纸边轻刮、轻压粉料面,使粉料与胶面贴实; * 用吸耳球从不同方向吹拂粉料,使粉料牢固、均匀地粘在导电胶上。;(2)对于亚微米或纳米粉料进行成分分析:利用压片机(红外和荧光均使用)压成结实得薄片,然后将薄片用导电胶粘在样品台上。 ;3、 安装 导电样品通常使用碳或铜导电胶粘到样品台上,粘接时要确保底面与胶面贴实。 安装不导电样品可用普通双面胶,并在表面粘一条胶带与金